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ナノインプリント半導体製造装置の出荷式でテープカットするキヤノンの関係者ら＝26日午前、宇都宮市
米国に向け初出荷されたナノインプリント半導体製造装置（キヤノン提供）
キヤノンは26日、宇都宮市清原工業団地の宇都宮光学機器事業所（武石洋明（たけいしひろあき）光学機器事業本部長）で、ナノインプリント半導体製造装置の出荷式を行った。同装置は半導体デバイスの製造で最も重要な回路パターンの転写を担うもので、シンプルな仕組みで微細な回路パターンを形成できるのが特徴。半導体製造コストを抑えられる点などもＰＲし、販売台数を増やしていきたい考えだ。
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